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        要實現自動微進給和要求微量進給裝置有較好的特性時，現在都采用壓電或電致伸縮式微量進給裝置。精密零件加工對電致伸縮微量進給裝置機械結構的要求主要有：有較高的剮度和自振頻率，自振頻率應大于300-500Hz，調整使用方便，應能很方便地調節電致伸縮式傳感器的預載力；最好是整體結構，在實現微位移時無摩擦力，結構不要太復雜，便于加工造。 圖3.22所示為我國某單位設計的新結構微量進給裝置。這種微量進給裝置本體、彈性變形元件、位移進給部分是由整體材料制成，是一整體結構，這樣可以避免裝配接合面的接觸剛度對微位移精度的影響。電致伸縮式傳感器后端有調節螺釘，可以很方便地調整預載力。為避免電致伸縮式傳感器兩端受力不平行，后端用鋼球加預載力，在預載力調整好后用鎖緊螺母將調節螺釘鎖死。電致伸縮式傳感器在電壓作用下伸長時，推動前面刀具的位穆部分前進，實現微量進給。這種微量進給裝置剛性和自振頻率均較高(7.8kHz)，結構簡單體積小，使用方便。在使用長15mm的AVX公司電致伸縮式傳感器時，系統分辨率為0.01 lun，最大位移為5.2 pun，系統在200Hz下正常工作，微位移穩定可靠。微量進給裝置的應用可實現如下功能：實現微量進給，實現超薄加工，在線誤差補償，用于切削加工非軸對稱特殊型面.